Регулирование концентрации УНТ в композитной металлизации СБИС

Кондратьев П.К.

Сборник докладов 5-ой международной научно-технической Конференции «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике», ИНМЭ РАН, Москва, 13-15 апреля 2016 г.