ИНМЭ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение наукиИнститут нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки
01.12.2014
Сауров А.Н., Галперин В.А., Павлов А.А., Шаман Ю. П., Шаманаев A. A., Благов Е. В., Скорик С.Н.
Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки
ФИПС
RU2504746 (C1) ― 2014-01-20
Возврат к списку
