УПРАВЛЕНИЕ СВОЙСТВАМИ АЛМАЗОПОДОБНЫХ КРЕМНИЙУГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК

Попов А.И., Баринов А.Д., Емец В.М., Чуканова Т.С., Шупегин М.Л.

Физика твердого тела. 2020. Т. 62. № 10 (101569). С. 1612-1617.

Рассмотрены возможности управления электрофизическими и механическими свойствами аморфных алмазоподобных кремнийуглеродных пленок методами структурной, химической и структурно-химической модификации. В качестве факторов структурной модификации использовались величина напряжения смещения и его частота в процессе синтеза пленок, давление аргона в рабочей камере, а также прекурсоры с различной молекулярной структурой. Для химической и структурно-химической модификации осуществлялось введение в пленку переходных металлов с концентрацией до 30-35 аt.%. Показана высокая эффективность управления физическими свойствами пленок рассматриваемыми методами. Ключевые слова: кремнийуглеродные пленки, полифенилметилсилоксан, полиметилсилоксан, структурная, химическая и структурно-химическая модификация, нанокомпозиты, электропроводность, нанотвердость.