РАСТВОРИМОСТЬ ПРИМЕСЕЙ В НАНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ

Булярский С.В., Светухин В.В.

Нано- и микросистемная техника. 2020. Т. 22. № 7. С. 375-380.

Разработана термодинамическая модель растворимости примесей в нанокристаллах. Показано, что на растворимость оказывает влияние поверхностная энергия нанокристалла, поэтому с уменьшением его размеров растворимость примеси падает, затем приобретает дискретный характер, т. е. в нем может растворяться только счетное число атомов. В нанокристаллах, меньших определенного размера, примесь раствориться не может. Расчеты применяются к нанокристаллам кремния в оксиде этого материала.