ОБРАЗОВАНИЕ НАНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ОКСИДА КРЕМНИЯ

Булярский С.В., Светухин В.В.

Нано- и микросистемная техника. 2020. Т. 22. № 6. С. 329-334.

Разработана теоретическая модель образования нанокристаллов кремния после ионной имплантации. Модель позволяет оценить кинетику роста нанокристаллов при различных температурах и дозах ионного легирования. Она согласуется с экспериментом и может быть использована для предварительной оценки условий формирования нанокристаллов кремния в матрице оксида кремния.