ОПРЕДЕЛЕНИЕ ИЗМЕНЕНИЯ РАБОТЫ ВЫХОДА УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК МЕТОДОМ ОЖЕ-ЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ПОСЛЕ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОГО СЛОЯ ОКСИДА ГАФНИЯ

Белов В.С., Литвинова К.И., Тагаченков А.М., Сиротина А.П., Кириленко Е.П., Молоденский М.С., Шибалов М.В., Першина Е.А., Зенова Е.В.

Нано- и микросистемная техника. 2019. Т. 21. № 8. С. 465-471.

Авторами статьи была отработана методика, позволяющая определять работу выхода электронов с поверхности материалов методом Оже-электронной спектроскопии. Для реализации данной методики были проведены исследования влияния тонкого слоя оксида гафния, нанесенного на массив УНТ методом атомно-слоевого осаждения, на работу выхода электронов из УНТ. При этом были определены работы выхода электронов углеродных нанотрубок до осаждения и после осаждения оксида гафния толщиной 2 нм и слоя оксида гафния толщиной 40 нм.