ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОЛЩИН ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДАМИ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ И ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННОГО РЕНТГЕНОВСКОГО АНАЛИЗА (ОБЗОР)

Соколов С.А., Милованов Р.А., Сидоров Л.Н.

Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2019. № 9. С. 54-66.

Обзор посвящен современным методикам неразрушающего определения толщин тонких пленок методами растровой электронной микроскопии и энергодисперсионного рентгеновского анализа. Описан общий подход к определению толщин тонких пленок этими методами. Подробно рассматриваются конкретные методики определения толщин тонких пленок, их преимущества и недостатки.