ИНМЭ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение наукиИнститут нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
ION BEAM ETCHING OF DENSE AND POROUS PZT FILMS
11.11.2019
Abdullaev D.A., Seregin D.S., Vorotilov K.A., Sigov A.S.
Ferroelectrics. 2019. Т. 544. № 1. С. 75-81.
Возврат к списку
