Использование тонкой пленки сплава Co15Ti40N35 для каталитического роста углеродных нанотрубок методом CVD

Громов Д.Г., Дубков С.В., Павлов А.А., Скорик С.Н., Трифонов А.Ю., Шулятьев А.С., Шаман Ю.П., Рыгалин Б.Н.

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, Том 45, №2, 2016 – С. 105-111. (DOI: 10.7868/S0544126916020058)